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          真空知識及真空泵
          2025-06-16

           半導體及電子行業接觸的真空一般指的是氣壓比一標準大氣壓小的氣體空間,是指稀薄的氣體狀態,又可分為極高真空、高真空、中真空和低真空,分類如下表所示:

           真空一般是用特制的抽氣機獲得,它的氣體稀薄程度用真空計測定,現在已能用分子抽氣機和擴散抽氣機得到1*10-14pa大氣壓的極高真空。真空技術在芯片制造,太陽能電池片制造,光學膜制造、電真空儀器,電子管和其他電子儀器方面均有廣泛應用。

           普通真空泵,壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為“粗”真空;

           油泵,壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為“次高”真空 ;

           擴散泵,壓強可達0.133Pa以下,(10-3mmHg)為“高”真空;

           不同真空度狀況下分子密度狀態:

           真空泵是最主要的真空裝備、從產生真空原理上分為:容積式真空泵(如液環泵,螺桿泵,羅茨泵等);動量傳遞式真空泵(如分子泵:噴射真空泵:擴散泵均屬于此類);氣體捕集式真空泵(如鈦升華、鋯鋁合金吸氣泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發鈦升華泵等)

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