一、基礎(chǔ)判斷：快速確認(rèn)是否存在漏氣

 無需復(fù)雜工具，通過真空泵運(yùn)行狀態(tài)和壓力變化即可初步判斷，適合日常快速排查。

 保壓測(cè)試（最直接方法）

 關(guān)閉真空泵進(jìn)氣口閥門，讓泵運(yùn)行至額定真空度后停機(jī)，觀察真空表讀數(shù)變化。

 若讀數(shù)在 10-30 分鐘內(nèi)保持穩(wěn)定（或僅輕微下降，具體需參考泵的型號(hào)精度），說明無明顯漏氣。

 若讀數(shù)快速上升（比如幾分鐘內(nèi)從 - 0.1MPa 升至 - 0.05MPa 以下），則確定存在漏氣點(diǎn)。

 聽運(yùn)行聲音

 正常運(yùn)行時(shí)，真空泵聲音應(yīng)均勻穩(wěn)定（如旋片泵的 “嗡嗡” 聲、羅茨泵的 “低沉運(yùn)轉(zhuǎn)聲”）。

 若出現(xiàn) “嘶嘶”“吸氣聲” 或聲音忽大忽小，可能是進(jìn)氣端密封不嚴(yán)，有空氣持續(xù)滲入。

 摸泵體與管路溫度

 運(yùn)行一段時(shí)間后，正常情況下泵體溫度會(huì)穩(wěn)定在一定范圍（如旋片泵約 40-60℃），管路無明顯溫差。

 若某段管路（尤其是接口處）溫度異常偏低（比環(huán)境溫度低 5℃以上），可能是該位置漏氣，外界空氣吸入時(shí)帶走熱量。

二、精準(zhǔn)檢漏：定位具體漏氣點(diǎn)

 確認(rèn)漏氣后，需用專用方法排查具體位置，重點(diǎn)檢查 “密封面” 和 “連接點(diǎn)”（如法蘭、閥門、管路接口）。

 肥皂水檢漏法（低成本通用）

 適用于常壓或低真空系統(tǒng)（如真空度高于 - 0.05MPa 的場(chǎng)景）。

 步驟：將肥皂水（或洗潔精水，需攪拌出泡沫）均勻涂抹在疑似漏氣點(diǎn)（法蘭密封面、閥門接口、管路焊縫等）。

 判斷：若涂抹處出現(xiàn)持續(xù)冒泡（氣泡大小隨漏氣量變化，漏量大則氣泡密集），則該位置為漏氣點(diǎn)。

 真空計(jì)分段檢漏法（高精度）

 適用于高真空系統(tǒng)（如真空度低于 - 0.09MPa），需搭配真空計(jì)（如電阻真空計(jì)、電離真空計(jì)）。

 步驟：1. 先關(guān)閉真空泵與系統(tǒng)的連接閥，單獨(dú)檢測(cè)泵體本身（若泵體保壓正常，說明漏氣在系統(tǒng)側(cè)）；2. 再逐步打開系統(tǒng)各段閥門，每打開一段觀察真空計(jì)讀數(shù)，若某一段打開后真空度驟降，說明該段管路或部件漏氣。

 氦質(zhì)譜檢漏法（專業(yè)級(jí)）

 適用于漏率極小的精密系統(tǒng)（如半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備），需借助氦質(zhì)譜檢漏儀。

 原理：向疑似漏氣點(diǎn)外側(cè)噴氦氣，若系統(tǒng)內(nèi)的檢漏儀檢測(cè)到氦氣濃度升高，說明該位置漏氣（氦氣分子小，易穿透微小縫隙，漏率檢測(cè)精度可達(dá) 10?12Pa?m3/s）。

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