一、基礎判斷：快速確認是否存在漏氣

 無需復雜工具，通過真空泵運行狀態和壓力變化即可初步判斷，適合日常快速排查。

 保壓測試（最直接方法）

 關閉真空泵進氣口閥門，讓泵運行至額定真空度后停機，觀察真空表讀數變化。

 若讀數在 10-30 分鐘內保持穩定（或僅輕微下降，具體需參考泵的型號精度），說明無明顯漏氣。

 若讀數快速上升（比如幾分鐘內從 - 0.1MPa 升至 - 0.05MPa 以下），則確定存在漏氣點。

 聽運行聲音

 正常運行時，真空泵聲音應均勻穩定（如旋片泵的 “嗡嗡” 聲、羅茨泵的 “低沉運轉聲”）。

 若出現 “嘶嘶”“吸氣聲” 或聲音忽大忽小，可能是進氣端密封不嚴，有空氣持續滲入。

 摸泵體與管路溫度

 運行一段時間后，正常情況下泵體溫度會穩定在一定范圍（如旋片泵約 40-60℃），管路無明顯溫差。

 若某段管路（尤其是接口處）溫度異常偏低（比環境溫度低 5℃以上），可能是該位置漏氣，外界空氣吸入時帶走熱量。

二、精準檢漏：定位具體漏氣點

 確認漏氣后，需用專用方法排查具體位置，重點檢查 “密封面” 和 “連接點”（如法蘭、閥門、管路接口）。

 肥皂水檢漏法（低成本通用）

 適用于常壓或低真空系統（如真空度高于 - 0.05MPa 的場景）。

 步驟：將肥皂水（或洗潔精水，需攪拌出泡沫）均勻涂抹在疑似漏氣點（法蘭密封面、閥門接口、管路焊縫等）。

 判斷：若涂抹處出現持續冒泡（氣泡大小隨漏氣量變化，漏量大則氣泡密集），則該位置為漏氣點。

 真空計分段檢漏法（高精度）

 適用于高真空系統（如真空度低于 - 0.09MPa），需搭配真空計（如電阻真空計、電離真空計）。

 步驟：1. 先關閉真空泵與系統的連接閥，單獨檢測泵體本身（若泵體保壓正常，說明漏氣在系統側）；2. 再逐步打開系統各段閥門，每打開一段觀察真空計讀數，若某一段打開后真空度驟降，說明該段管路或部件漏氣。

 氦質譜檢漏法（專業級）

 適用于漏率極小的精密系統（如半導體、實驗室設備），需借助氦質譜檢漏儀。

 原理：向疑似漏氣點外側噴氦氣，若系統內的檢漏儀檢測到氦氣濃度升高，說明該位置漏氣（氦氣分子小，易穿透微小縫隙，漏率檢測精度可達 10?12Pa?m3/s）。

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